自由曲面零位干涉检测装置及计算全息图设计方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种自由曲面零位干涉检测装置及计算全息图设计方法。本发明解决了非回转对称性自由曲面检测所需零位补偿元件难以设计、优化与仿真的难题。本发明利用自由曲面表达式进行密集采样得到采样点坐标并计算出对应法向量,基于双通光路光线追迹原理在选定位置计算得到计算全息图所需补偿离散点相位值,基于Zernike多项式拟合波前原理计算得到连续相位值,经自研算法与光路仿真软件优化后达到零位补偿标准,生成刻蚀光刻铬板所需工程图,产生包含零位补偿与辅助定位功能的计算全息图实物。位姿调节足够精准时,自由曲面面形误差由出射平面波携带,采集、解调与重构波前能够定量获得面形误差信息。

基本信息
专利标题 :
自由曲面零位干涉检测装置及计算全息图设计方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114322834A
申请号 :
CN202111680644.6
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨甬英江佳斌曹频肖翔
申请人 :
杭州晶耐科光电技术有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市余杭区良渚街道沈港路10号506室
代理机构 :
杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
朱月芬
优先权 :
CN202111680644.6
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20211229
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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