实时检测非球面的全息干涉装置

专利权的终止未缴年费专利权终止

摘要

本发明属于光学波面面形检测领域中实时检测非球面面形的一种全息干涉装置，由平面镜17，分束器3、光源1、扩束器2、分束器3、参考平面镜4、零位补偿器5，计算全息图6、成象透镜7、空间滤波器8、面阵探测器9、偏振分束器10、成象系统11、显示器12、计算机13、起偏镜15和16、面阵探测器18构成。本发明要解决的问题是可分别用于粗加工和精加工阶段的检测。避免繁琐的化学显影处理及由此产生的随机检测误差。本发明功能齐全、检测量程大、使用范围广、使用简便、制造容易、检测精度高、干涉图易于分析和处理等优点。

基本信息

专利标题：

实时检测非球面的全息干涉装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1080405A

申请号：

CN92104991.9

公开（公告）日：

1994-01-05

申请日：

1992-06-15

授权号：

CN1028913C

授权日：

1995-06-14

发明人：

向阳

申请人：

中国科学院长春光学精密机械研究所

申请人地址：

130022吉林省长春市斯大林大街112号

代理机构：

中国科学院长春专利事务所

代理人：

梁爱荣

优先权：

CN92104991.9

主分类号：

G02B27/60

IPC分类号：

G02B27/60