腔内干涉增强自混合干涉的微位移检测装置及检测方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了腔内干涉增强自混合干涉的微位移检测装置及检测方法，包括半导体激光器、平移台，半导体激光器的出射光路上依次设置有光束准直系统、分束镜，分束镜一光路上依次设置有聚焦透镜、被测物体，平移台上设置有反射镜，反射镜位于分束镜的另一光路上；半导体激光器依次连接有光电探测系统、计算机，计算机与平移台连接。通过两路自混合干涉信号在半导体激光器腔内形成二次干涉，提高自混合干涉信号的信噪比，实现高信噪比物体微振动信息的实时性探测；操作简单，适用性较强。
基本信息
专利标题 ：
腔内干涉增强自混合干涉的微位移检测装置及检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114353930A
申请号 ：
CN202111582444.7
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-12-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘晖李思嘉樊信显靳萤鹏孙戬熊玲玲马训鸣
申请人 ：
西安工程大学
申请人地址 ：
陕西省西安市碑林区金花南路19号
代理机构 ：
西安弘理专利事务所
代理人 ：
王丹
优先权 ：
CN202111582444.7
主分类号 ：
G01H9/00
IPC分类号 ：
G01H9/00 G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01H
机械振动或超声波、声波或次声波的测量
G01H9/00
应用对辐射敏感的装置，例如光学装置，测量机械振动或超声波、声波或次声波
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01H 9/00
申请日 : 20211222
申请日 : 20211222
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
