实时一步双波长全息干涉检测装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明属于光学波面面形检测技术领域中的一种双波长全息干涉检测装置，它由检测光源（１）、起偏镜（２）和（３）、平面镜（４）、分束器（５）、扩束器（６）、分束器（７）、参考平面镜（８）、发散透镜（９）、偏振分束器（１０）和（１３）、平面镜（１１）和（１２）、空间光调制器（１４）、成像透镜（１５）、空间滤波器（１６）、面阵探测器（１７）和计算机（１８）组成。本发明实现了一步完成被测面形双波长全息干涉的记录、再现和检测，消除了色差对检测精度的影响，能实时给出检测结果，可与其他类型干涉仪组合使用，适用于各种光学零件的检测。
基本信息
专利标题 ：
实时一步双波长全息干涉检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1088681A
申请号 ：
CN92115049.0
公开（公告）日 ：
1994-06-29
申请日 ：
1992-12-25
授权号 ：
CN1039745C
授权日 ：
1998-09-09
发明人 ：
向阳
申请人 ：
中国科学院长春光学精密机械研究所
申请人地址 ：
130022吉林省长春市斯大林大街112号
代理机构 ：
中国科学院长春专利事务所
代理人 ：
梁爱荣
优先权 ：
CN92115049.0
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2000-02-16 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-09-09 ：
授权
1996-05-29 ：
实质审查请求的生效
1996-03-20 ：
实质审查请求的生效
1994-06-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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