压电材料及其制作方法、声表面波谐振器及电子器件
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种压电材料及其制作方法、声表面波谐振器及电子器件，所述压电材料包括自下向上叠设的硅基衬底以及氮化铝薄膜。本发明提供的压电材料，将氮化铝薄膜作为压电层，以供声表面波在其表面产生并传播，氮化铝薄膜具有声速高、热稳定性好、导热系数高等优点，因而器件频率高、温度漂移小；此外，以硅基为衬底，制作氮化铝薄膜作为压电材料，有利于器件的大规模生产，且能够与CMOS工艺集成，有助于降低制造成本、提升器件集成度和性能。
基本信息
专利标题 ：
压电材料及其制作方法、声表面波谐振器及电子器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114497348A
申请号 ：
CN202111682886.9
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
樊永辉许明伟樊晓兵
申请人 ：
深圳市汇芯通信技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市福田区华富街道莲花一村社区皇岗路5001号深业上城(南区)T2栋2701
代理机构 ：
深圳市恒程创新知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵爱蓉
优先权 ：
CN202111682886.9
主分类号 ：
H01L41/18
IPC分类号 ：
H01L41/18 H01L41/316 H01L41/39 H03H9/25
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/18
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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