本实用新型提供了一种用于高纯氟气中杂质的分析装置，包括进样单元、吸附单元、阀切换单元、色谱柱、检测器和载气，所述阀切换单元包括第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀和第六切换阀，六个切换阀上均设有多个连接口；所述吸附单元包括四个吸附柱，切换阀的连接口之间设有吸附柱和色谱柱，切换阀内通入载气；所述第六切换阀的连接口上设有所述检测器，所述第一切换阀上还设有样品入口和样品出口。本实用新型结构简单，操作简便，通过采用镍化管道，减少了氟气对管道的腐蚀；色谱系统采用高灵敏度的脉冲氦离子化检测器，检测精度更高。