一种电子显微镜
授权
摘要
本实用新型公开了一种电子显微镜，包括：样品台，用于放置待测样品；电子光学镜筒，用于发射电子束，并将所述电子束汇聚到所述待测样品上；高压探测单元，接收所述电子束作用于所述待测样品上产生的信号电子，并输出电压信号；高压供电单元，与所述高压探测单元电连接，控制所述高压探测单元达到预设电平。本实用新型通过高压供电单元为高压探测单元供电，高压探测单元在预设电平下工作，可以增加信号电子的速度，提高信号电子的能量，更多的高能量信号电子被高压探测单元接收，可以提高电子显微镜成像速度和成像质量。
基本信息
专利标题 ：
一种电子显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122127340.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-03
授权号 ：
CN216161686U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
李帅曲士座胡继闯
申请人 ：
聚束科技（北京）有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区永昌北路3号3幢8101-A单元
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122127340.9
主分类号 ：
H01J37/248
IPC分类号 ：
H01J37/248 H01J37/26
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/248
与高压电源有关的部件
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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