一种具有移动校准结构的离子注入电气隔离装置
授权
摘要
本实用新型提出一种具有移动校准结构的离子注入电气隔离装置，包括支撑装配组件、绝缘承托组件、转接定位组件、遮罩防护组件、电缆进线组件及电缆出线组件，该电气隔离装置的支撑装配组件底部设置绝缘立柱，对支撑装配组件进行支撑的同时起到绝缘作用，并且支撑装配组件的支撑底板及支撑顶板均为正多边形形状，便于与周围部件配合安装，方便进行设备排布及位置校准，而转接定位组件的定位底板可通过调节支脚在支撑底板上调节角度，使得操作灵活性大为提升，便于对电气隔离装置的运行状态进行检视和维护，有利于提升离子注入设备的运行稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种具有移动校准结构的离子注入电气隔离装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123173965.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-14
授权号 ：
CN216597496U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
彭强祥刘仁杰史进颜松
申请人 ：
浙江中科尚弘离子装备工程有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市嘉善县魏塘街道木业大道1111号2号楼313室
代理机构 ：
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
代理人 ：
汪文芹
优先权 ：
CN202123173965.5
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01J37/248
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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