一种离子注入机的基板传输结构
授权
摘要
本实用新型提供了一种离子注入机的基板传输结构，属于基板技术领域。该离子注入机的基板传输结构包括基板传输装置本体、基板固定组件和基板本体。所述基板固定组件包括支撑板、两个固定杆件、安装板、第一夹紧件、第二夹紧件和两个碰珠件，所述第一夹紧件包括第一固定板、第二固定板、压板、滑杆和压紧螺杆。通过第一夹紧件和第二夹紧件固定基板本体，当基板本体侧壁受外力时，形成简支梁的受力形式，减少单个连接处的受力，同时减少连接处的扭矩，进而有效的改善当基板侧壁受外力碰撞时，现有的基板输送装置上基板和基板固定结构连接处受力较大的问题，减少基板侧壁受外力碰撞，折断损坏的情况。
基本信息
专利标题 ：
一种离子注入机的基板传输结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022191726.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
CN212874426U
授权日 ：
2021-04-02
发明人 ：
杨光宇
申请人 ：
锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区滨海高新区华苑产业区海泰华科三路1号6号楼-912
代理机构 ：
北京沁优知识产权代理有限公司
代理人 ：
周庆路
优先权 ：
CN202022191726.1
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2021-04-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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