一种匀胶显影快速均温加热单元
授权
摘要

本实用新型公开了一种匀胶显影快速均温加热单元,包括中空的热盘盘体,所述热盘盘体腔内设有介质液体,所述热盘盘体底部贴合有向上导热和对下部隔热的夹层加热电路,所述夹层加热电路的底端设有将夹层加热电路与热盘盘体压紧的底部压板。该匀胶显影快速均温加热单元将中间导热部分设计成相变导热腔或称热管,腔内真空充入适合的介质液体,通过液体的相变导热技术加快换热速度,使盘面横向温差极快速被覆盖。汽态导热系数相较液态有大大提升,均匀加热效果也就大幅提升,同时还能有效减薄热盘厚度。

基本信息
专利标题 :
一种匀胶显影快速均温加热单元
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122163236.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-08
授权号 :
CN216286158U
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
王阳明
申请人 :
王阳明
申请人地址 :
黑龙江省牡丹江市海林镇秦家村海宁路173号
代理机构 :
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
汤东凤
优先权 :
CN202122163236.5
主分类号 :
G03F7/38
IPC分类号 :
G03F7/38  G03F7/40  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/38
去除影像之前的处理,例如,预烘干
法律状态
2022-04-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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