加热装置、涂布显影装置及加热方法
授权
摘要
本发明的加热装置(2)具备：热板(41)，载置基板(W)；顶板(62)，与该基板对置；气体排出部(31)，设在上述热板(41)的一端侧，将气体排出到该热板(41)和顶板(62)之间；排气部(51)，夹着上述热板(41)与气体排出部(31)对置而设置；加热部(42a～h)，独力地加热基板(W)的第1区域(P1)、第2区域(P2)。通过形成单向流、将第1区域(P1)和第2区域(P2)加热到不同的温度，进行面内均匀性较高的加热处理。在该加热装置(2)中，通过将上述气体加热到一定温度并在该热板(41)上装备一定高度的突起部(46)，能够防止因基板(W)弯曲造成的位置偏移，并且能够防止基板(W)冷却，所以可进行面内均匀性较高的加热处理。
基本信息
专利标题 ：
加热装置、涂布显影装置及加热方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1837731A
申请号 ：
CN200610067374.0
公开（公告）日 ：
2006-09-27
申请日 ：
2006-03-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
福冈哲夫北野高广松冈伸明
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
张天安
优先权 ：
CN200610067374.0
主分类号 ：
F26B3/06
IPC分类号 ：
F26B3/06
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B3/00
需要用加热方法来干燥固体材料或制品
F26B3/02
用对流作用的，即借助气体或蒸气从热源传递热到材料或制品使其干燥，例如用空气
F26B3/06
气体或蒸汽流过材料或制品进行干燥
法律状态
2009-04-08 ：
授权
2006-11-22 ：
实质审查的生效
2006-09-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN100476331C.PDF
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2、
CN1837731A.PDF
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