显影方法及装置
实质审查的生效
摘要
本申请提供一种显影方法及装置。该显影方法包括：获取待显影晶圆上方的气流状况；根据气流状况设置显影程式；按照显影程式对待显影晶圆进行显影，从而，提高了显影后形成的光刻图案质量。
基本信息
专利标题 ：
显影方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114460817A
申请号 ：
CN202011241124.0
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2020-11-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孙贺雷陈步祥
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
张娜
优先权 ：
CN202011241124.0
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/30
申请日 : 20201109
申请日 : 20201109
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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