显影装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种显影装置，包括晶圆载台、喷涂模块和第一旋转电机，所述晶圆载台用于承载待显影的晶圆，并带动所述晶圆转动；所述喷涂模块包括液体涂布单元和气体吹扫单元；所述第一旋转电机的旋转轴与所述气体吹扫单元固定连接，用于带动所述气体吹扫单元转动，所述第一旋转电机的转动方向包括顺时针方向和逆时针方向。通过改变所述第一旋转电机的转动方向，可以使所述晶圆载台和气体吹扫单元相对反向转动，从而实现比一个旋转电机更快的相对旋转角速度，对晶圆表面进行更快的吹扫，避免了晶圆表面部分区域由于吹扫速度过慢，液体挥发导致的水渍缺陷或固体残留的问题。

基本信息

专利标题：

显影装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922072829.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-27

授权号：

CN210573195U

授权日：

2020-05-19

发明人：

张强应战

申请人：

长鑫存储技术有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

黄丽

优先权：

CN201922072829.3

主分类号：

G03F7/30

IPC分类号：

G03F7/30