一种温差控制匀胶显影加热单元
授权
摘要
本实用新型公开了一种温差控制匀胶显影加热单元，包括均热盘体，所述均热盘体分为托盘上表面板、石墨烯均温层、绝缘导热隔板、夹层加热电路与底部保温压板，所述托盘上表面板、石墨烯均温层、绝缘导热隔板、夹层加热电路与底部保温压板从上到下依次设置，托盘上表面板的表面为晶圆加热面，托盘上表面板上表面潜表处固定高精度温度传感器。该温差控制匀胶显影加热单元使得热盘均匀加热效果显著提升。
基本信息
专利标题 ：
一种温差控制匀胶显影加热单元
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022451162.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-29
授权号 ：
CN213991050U
授权日 ：
2021-08-17
发明人 ：
刘晟麟
申请人 ：
刘晟麟
申请人地址 ：
河北省廊坊市广阳区新开路群乐里2栋1单元201室
代理机构 ：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汤东凤
优先权 ：
CN202022451162.0
主分类号 ：
H05B3/14
IPC分类号 ：
H05B3/14 H05B3/36
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法律状态
2021-08-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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