涂胶、显影单元的方便维修结构

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及涂胶、显影单元的改进技术，具体为一种用以在半导体晶片上进行涂胶、显影的涂胶单元及显影单元的方便维修结构，解决涂胶、显影单元维修或更换时存在的笨重又不方便，容易造成部件的局部划伤，从而产生机械尘粒，不利于涂胶、显影工艺过程等问题。涂胶或显影单元的基座置于安装板上，基座底部安装凸轮随动器，安装板上开有与凸轮随动器配合的凹槽。当单元发生故障需要进行维修或更换时，便可以拆除单元与机架的固定螺栓，借助凸轮随动器的滚动作用将单元整体沿直线凹槽向外拉出，可以实现对涂胶(显影)单元的方便、快捷的维修与及时更换，即插即用。

基本信息

专利标题：

涂胶、显影单元的方便维修结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820015387.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-09-03

授权号：

CN201262684Y

授权日：

2009-06-24

发明人：

魏猛

申请人：

沈阳芯源微电子设备有限公司

申请人地址：

110168辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司

代理人：

张志伟

优先权：

CN200820015387.8

主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

G03F7/16 G03F7/26 H01L21/00 H01L21/027