紧凑型等离子发生装置
授权
摘要
本公开提供一种等离子发生装置，包括：一个或多个正离子释放器阵列，所述正离子释放器阵列包括用于释放正离子的多个正离子释放器；一个或多个负离子释放器阵列，所述负离子释放器阵列包括用于释放负离子的多个负离子释放器，以及离子隔挡，位于所述正离子释放器阵列和所述负离子释放器阵列之间。本公开提供的等离子发生装置能提高等离子发生效率。
基本信息
专利标题 ：
紧凑型等离子发生装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122185874.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-10
授权号 ：
CN216650079U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
方衍编王亮张秋军杨亚楠
申请人 ：
费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区3号楼
代理机构 ：
上海国瓴律师事务所
代理人 ：
傅耀
优先权 ：
CN202122185874.7
主分类号 ：
H05H1/24
IPC分类号 ：
H05H1/24
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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