紧凑型等离子发生装置
授权
摘要

本公开提供一种等离子发生装置,包括:一个或多个正离子释放器阵列,所述正离子释放器阵列包括用于释放正离子的多个正离子释放器;一个或多个负离子释放器阵列,所述负离子释放器阵列包括用于释放负离子的多个负离子释放器,以及离子隔挡,位于所述正离子释放器阵列和所述负离子释放器阵列之间。本公开提供的等离子发生装置能提高等离子发生效率。

基本信息
专利标题 :
紧凑型等离子发生装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122185874.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-10
授权号 :
CN216650079U
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
方衍编王亮张秋军杨亚楠
申请人 :
费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区3号楼
代理机构 :
上海国瓴律师事务所
代理人 :
傅耀
优先权 :
CN202122185874.7
主分类号 :
H05H1/24
IPC分类号 :
H05H1/24  
法律状态
2022-05-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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