液处理装置
授权
摘要
本实用新型涉及液处理装置，其使附着于内杯的涂布液不会在清洗了液处理装置的内杯之后残留。一种在基板上涂布涂布液的液处理装置，其包括：保持部，其保持基板并使其旋转；涂布液供给部，其向被保持部保持着的基板供给涂布液；外杯，其围绕被保持部保持着的基板的周边；以及内杯，其设于外杯的内侧，自侧方包围保持部，该内杯的周缘侧上表面自顶部随着朝向径向外方去而下降倾斜，该顶部位于被保持部保持着的基板的周缘侧的下方，内杯具有在顶部沿着周向形成有多个的喷出孔，使自喷出孔喷出来的清洗液沿着附着有涂布液的内杯的周缘侧上表面流下，从而对该周缘侧上表面进行清洗，喷出孔形成为向径向外方且斜上方喷出清洗液。
基本信息
专利标题 ：
液处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122398639.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-30
授权号 ：
CN216631347U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
柴崎健太稻田博一新村聪高柳康治矢田健二关慎一寺本昭宏
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202122398639.8
主分类号 ：
B05B15/555
IPC分类号 ：
B05B15/555 B05B15/55 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置；雾化装置；喷嘴
B05B15/00
其他类目中不包括的喷射设备或喷射装置的零件；附件
B05B15/50
清洁设备；防止堆积，干燥或堵塞的设备; 检测排射口是否存在杂质的设备
B05B15/55
使用清洗液
B05B15/555
通过清洗喷嘴排放
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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