直立式沉积炉管的积液处理保险装置
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摘要
本实用新型属于半导体制备设备技术领域,尤其涉及一种直立式沉积炉管的积液处理保险装置,包括引流管、集液瓶和液位感应器,所述炉管的底部炉门上设置有石英件,所述石英件的上表面开设有集液环槽,所述集液环槽绕石英件的周向开设,所述集液环槽上贯穿有第一通孔,所述炉门上贯穿有第二通孔,所述引流管依次穿过第一通孔和第二通孔设置,所述集液瓶设置在炉门和引流管的下方,所述集液环槽、引流管和集液瓶依次连通,所述液位感应器设置在集液瓶内。有益效果:该积液处理保险装置,可有效降低积液残留,避免腐蚀性液体溢流腐蚀炉门及其管路,特别是防止腐蚀电路管线杜绝安全隐患,延长保养周期,降低生产成本。
基本信息
专利标题 :
直立式沉积炉管的积液处理保险装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122414320.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-08
授权号 :
CN216427409U
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
张牧
申请人 :
苏州同冠微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港经济技术开发区新丰东路3号
代理机构 :
常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
毛姗
优先权 :
CN202122414320.X
主分类号 :
C23C16/54
IPC分类号 :
C23C16/54 C23C16/52
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/54
连续镀覆的专用设备
法律状态
2022-05-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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