一种双通道芯片检测设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种双通道芯片检测设备,包括基座、下料装置和相对设置的第一检测系统和第二检测系统,下料装置位于第一检测系统和第二检测系统之间,两个检测系统同时运行,提高检测效率,通过同一个下料装置进行下料,无需单独设置下料装置,简化设备结构。两个检测系统均包括校正装置、顶升装置、运送装置、顶面检测相机、端面检测相机和底面检测相机。底面检测相机与端面检测相机的光轴线正交,芯片进行底面检测的同时进行端面检测,正交点位于下料装置与顶面检测相机之间,检测过程中,芯片先进行顶面检测,再同时进行端面检测和底面检测,最后进行下料,芯片朝一个方向运输即可完成所有的操作,无需往复运输,优化工作时序,提高工作效率。
基本信息
专利标题 :
一种双通道芯片检测设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122458348.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-12
授权号 :
CN216213270U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
晁阳升蔡浪滔王宇峰梁永鑫
申请人 :
湖南奥创普科技有限公司
申请人地址 :
湖南省长沙市高新开发区岳麓西大道588号芯城科技园2栋7楼7011房
代理机构 :
北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张珍珍
优先权 :
CN202122458348.3
主分类号 :
H01L21/66
IPC分类号 :
H01L21/66 H01L21/677 H01L21/67 H01L21/68 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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