过滤装置和具有其的抛光设备
授权
摘要

本实用新型公开了一种过滤装置和具有其的抛光设备,过滤装置包括至少一个过滤单元,过滤单元包括:过滤器、抛光液供给管和冲洗液供给管,过滤器具有进液口、出液口和废液口,废液口位于过滤器的下部或底部,进液口连接有进液管,出液口连接有出液管,废液口连接有废液管;抛光液供给管的出口端和冲洗液供给管的出口端并联连接在进液管的远离进液口的一端,抛光液供给管上串接有抛光液供液阀和单向阀,冲洗液供给管上串接有冲洗液供液阀。根据本实用新型的过滤装置,通过在过滤装置中设置过滤器、抛光液供给管和冲洗液供给管,可以将抛光液中的杂质过滤,也可以对整个过滤装置进行冲洗,避免杂质堵塞过滤装置,延长过滤装置的寿命。

基本信息
专利标题 :
过滤装置和具有其的抛光设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122718852.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-08
授权号 :
CN216497808U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
陈开鹰沈文雷胡金廷夏发茗
申请人 :
徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号
代理机构 :
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
花丽
优先权 :
CN202122718852.2
主分类号 :
B01D29/31
IPC分类号 :
B01D29/31  B01D29/66  B01D29/52  B01D29/96  B01D35/14  B24B57/00  B24B57/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D29/00
不包括在组B01D24/00至B01D27/00中的过滤期间过滤元件不动的过滤器,例如压滤器或吸滤器;其过滤元件
B01D29/11
带有袋、笼、软管、管、套筒或类似过滤元件的
B01D29/31
自支撑过滤元件
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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