去除膜框装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种去除膜框装置,包括:底座;承载部,设置在底座上,承载部用于承载产品,产品包括基板和连接在基板上的膜框;限位部,限位部包括框架以及设置在框架上的压紧件,其中,框架和底座可连接或分离地设置;框架和底座连接的情况下,压紧件压紧位于承载部上的基板边沿;分离部,分离部包括基座和设置在基座上的分离件;基座可滑动地设置在框架上,以带动分离件插入膜框侧面的定位孔内;分离件可靠近或远离承载部,分离件在远离承载部移动的过程中带动膜框移动,以将膜框和基板分离。通过本实用新型提供的技术方案,能够优化现有技术中的去除膜框装置依靠人工去除膜框时的不准确性。
基本信息
专利标题 :
去除膜框装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122822608.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-17
授权号 :
CN216286147U
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
吴会敏
申请人 :
无锡迪思微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6
代理机构 :
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 :
何冲
优先权 :
CN202122822608.0
主分类号 :
G03F1/00
IPC分类号 :
G03F1/00 G03F1/72
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
法律状态
2022-04-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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