一种分体式组合石英坩埚模具，包括由若干高纯石英陶瓷件组合码砌而成的内壳，在内壳外套装有水冷却循环套，在水冷却循环套与内壳外壁之间留有抽气间隙，在高纯石英陶瓷件上均开设有与抽气间隙连通的抽真空孔，在水冷却循环套的底部固定连通有与抽气间隙连通的抽真空管道。本申请提供的分体式组合石英坩埚模具为分体式结构，具有膨胀系数小、热震性好的优点，在高温下不易膨胀变型，并且高纯石英陶瓷件采用高纯二氧化硅制成，与坩埚原料用的高纯石英砂接触无污染，每只模具使用周期长，有效降低了坩埚的生产成本。