减压干燥装置
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摘要
本实用新型的课题是提供一种能够将形成在基板上表面的涂布层均匀地干燥的减压干燥装置。该减压干燥装置(1)具备腔室(10)、载物台(20)、多个排气口(16a)～(16d)、减压机构(30)和控制部(80)。减压机构(30)具有独立调节来自多个排气口(16a～16d)的排气量的多个独立阀(Va)～(Vd)。控制部(80)在腔室(10)内减压时，以每次变更多个独立阀(Va)～(Vd)中的一部分的独立阀的开闭状态或开度的方式依次对独立阀变更一部分。由此，依次切换来自多个排气口(Va)～(Vd)的排气量。通过这样做，沿基板(9)上表面形成的气流方向发生变化。结果，能够抑制由溶剂蒸气引起的干燥不均。因此，能够均匀地干燥基板(9)上表面的涂布层。
基本信息
专利标题 ：
减压干燥装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122921233.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
CN216605955U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
高村幸宏
申请人 ：
株式会社斯库林集团
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
隆天知识产权代理有限公司
代理人 ：
金辉
优先权 ：
CN202122921233.3
主分类号 ：
B05D3/04
IPC分类号 ：
B05D3/04 H01L51/56
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D3/00
涂布液体或其他流体的表面的预处理；已有涂层的后处理，例如要用液体或其他流体作后续涂布的已有的涂层的中间处理
B05D3/04
暴露在气体中
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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