一种用于防止提前取货治具
授权
摘要
本实用新型提供一种用于防止提前取货治具。所述用于防止提前取货治具包括：用于晶圆盒的开合及晶圆位置扫描的扫描设备和设置于所述扫描设备上用于保护运送圆晶的圆晶传送盒；两个把手，两个所述把手分别固定于所述圆晶传送盒的两侧；防呆冶具，所述防呆冶具固定于所述扫描设备的一侧，所述防呆冶具包括固定板。本实用新型提供的用于防止提前取货治具通过在扫描设备上加装置防呆冶具，可以在载具会将圆晶传送盒前移10cm作业时，对把手的两侧进行遮挡，可以避免设备作业过程中，员工会误人为产品已作业完毕，会提前将圆晶传送盒取走，强制取货会导致扫描设备报警并且手臂会撞到产品导致破片，造成重大损失。
基本信息
专利标题 ：
一种用于防止提前取货治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122987461.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-01
授权号 ：
CN216354088U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
朱军龚胜利
申请人 ：
合肥新汇成微电子股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内
代理机构 ：
合肥辉达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汪守勇
优先权 ：
CN202122987461.0
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
