一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器
授权
摘要
本实用新型公开了一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器，包括用于灌装惰性气体和卤素气体的谐振腔体(1)，所述的谐振腔体(1)内设有相互间隔并能够放电的两个电极(2)，所述的谐振腔体(1)前端设有第一谐振镜片(3)，所述的谐振腔体(1)后端设有第二谐振镜片(4)，并且在第一谐振镜片(3)与电极(2)前端之间的位置设置有第一正圆形光阑(5)，在电极(2)后端与第二谐振镜片(4)之间的位置设置有第二正圆形光阑(6)。本实用新型结构简单，激光发散角一致，光斑呈圆形。
基本信息
专利标题 ：
一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123006889.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-02
授权号 ：
CN216251593U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
朱能伟方晓东游利兵马跃刘弘禹
申请人 ：
深圳技术大学
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区石井街道兰田路3002号
代理机构 ：
中山驰鼎专利商标代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
胡犇
优先权 ：
CN202123006889.9
主分类号 ：
H01S3/034
IPC分类号 ：
H01S3/034 H01S3/101 H01S3/106
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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