一种新型扩散炉机架
授权
摘要
本实用新型涉及扩散炉技术领域，提供了一种新型扩散炉机架，包括：架体；以及通过定位组件连接于所述架体内部的炉管托架；所述定位组件包括：滑槽以及活动连接于所述滑槽内部的框架；其中，所述滑槽固定连接于所述的架体内侧，所述框架的底部通过铰链安装有加固块；所述框架与所述滑槽之间设有水平方向调节组件；所述炉管托架与所述框架之间设有垂直方向调节组件。本申请中将炉管托架与机架设置为分体式结构，两者之间通过定位组件之间连接，使得炉管托架与机架可拆分、可固定，方便了炉管托架的安装，方便了炉管的配装，提高炉管的配装效率；同时，方便进行调节炉管的水平、竖直方向的位置，便于炉管的定位。
基本信息
专利标题 ：
一种新型扩散炉机架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123079862.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-09
授权号 ：
CN216523066U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
孟庆昌赵海军
申请人 ：
青岛海通达微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区夏庄街道少山社区172号-1
代理机构 ：
山东易佰捷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李勇鹏
优先权 ：
CN202123079862.2
主分类号 ：
F27B17/00
IPC分类号 ：
F27B17/00 H01L21/223
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B17/00
不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
