一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置，装置包括壳体、热加载机构、剪切散斑干涉检测机构、真空加载机构、吸盘式抓取机构、缺陷标记机构、传输机构和检测工作台，热加载机构和剪切散斑干涉检测机构设在壳体内的顶部，真空加载机构、吸盘式抓取机构和缺陷标记机构分别设置壳体内的三个侧壁上，传输机构和检测工作台设在壳体内的底部，剪切散斑干涉检测机构设在检测工作台的正上方。该装置既可实现不同尺寸小型工件的自动化检测，又可对被测工件进行缺陷位置标记，便于工件的后续处理，检测效率大大提高。
基本信息
专利标题 ：
一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123089754.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-10
授权号 ：
CN216718237U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
彭艳华唐傲牛方明王文举冯彪闫奕樸兰海贝
申请人 ：
桂林电子科技大学
申请人地址 ：
广西壮族自治区桂林市金鸡路1号
代理机构 ：
桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司
代理人 ：
陶平英
优先权 ：
CN202123089754.3
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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