一种芯片产品清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种芯片产品清洗装置，涉及芯片清洁技术领域。本实用新型包括清洗池，设于所述清洗池上的驱动机构，以及连接在所述驱动机构上的清洗机构；所述清洗机构包括设于所述驱动机构上的振动组件，以及连接在所述震动组件上的夹持组件；所述震动组件包括横向连接在所述驱动机构上的清洗臂，连接在所述清洗臂与夹持组件之间的多个振动弹簧，以及设于所述夹持组件上的振动电机。大提高了对芯片的清洗的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种芯片产品清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123209788.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-20
授权号 ：
CN216359229U
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
陈建鸿陈慧贞陈宜萱林圆香陈尹臻
申请人 ：
合肥强友科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区天都路4227号
代理机构 ：
合肥律众知识产权代理有限公司
代理人 ：
夏舜
优先权 ：
CN202123209788.1
主分类号 ：
B08B3/10
IPC分类号 ：
B08B3/10 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
法律状态
2022-04-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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