芯片自动清洗设备
授权
摘要
本实用新型涉及芯片刷洗机领域，特别涉及芯片自动清洗设备，包括：机架、上下料工位组件、单面清洗组件、和机械手运片组件。上下料工位组件设置在机架的一端。单面清洗组件用于清洗芯片。机械手运片组件用于取放芯片。机械手运片组件包括设置在机架的中部的导轨平台，设置在导轨平台上的x轴运动单元、y轴运动单元、z轴运动单元、旋转轴运动单元、及设置在旋转轴运动单元上的机械手。本实用新型通过机械手运片组件的设置，简化了芯片自动清洗设备的结构，节省了制作芯片自动清洗设备的成本，且减少了将待清洗的芯片移送至单面清洗组件内清洗，并将已在单面清洗组件清洗好的芯片移送至上下料工位组件内存储的时间，提高了芯片清洗的效率。
基本信息
专利标题 ：
芯片自动清洗设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021646928.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-10
授权号 ：
CN213079206U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
薛小宾李伟
申请人 ：
深圳市赛平精密技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区西乡街道铁仔山公园路西成龙秋口工业区c栋一楼
代理机构 ：
深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李捷
优先权 ：
CN202021646928.4
主分类号 ：
B08B1/00
IPC分类号 ：
B08B1/00 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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