石英盘取放工具
授权
摘要
本实用新型提供了一种石英盘取放工具，包括：导向杆；固定手柄，固定手柄连接于导向杆的第一端；活动手柄，活动手柄滑动地连接于导向杆；活动手柄的一端设置有托举片，托举片用于抵接于石英盘的底壁，在活动手柄沿着导向杆移动的情况下，托举片带动石英盘移动。通过操纵该石英盘取放工具的活动手柄沿导向杆滑动，可以令活动手柄上设置的托举片带动石英盘同步运动，完成石英盘的取放操作，进而极大程度上降低了取放石英盘的操作难度，并可以在石英盘相对于加热盘的取放过程中，降低碰碎加热盘管上易碎元件的可能性，有利于保护MOCVD工艺的相关设备。
基本信息
专利标题 ：
石英盘取放工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123385042.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
CN216550689U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
赵阳孙同享沈俊龙
申请人 ：
武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室
代理机构 ：
北京众达德权知识产权代理有限公司
代理人 ：
安磊
优先权 ：
CN202123385042.6
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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