一种掩模板固定装置和光纤刻写机
授权
摘要
本申请提供一种掩模板固定装置和光纤刻写机,包括安装座,设置有能够容纳掩模板的安装槽;安装座包括形成安装槽的槽侧壁和槽底壁,槽侧壁连接在槽底壁上,槽底壁朝向掩模板的进光面;压盖,压盖位于掩模板出光面的一侧,压盖包括第一部分和设置于第一部分上的第二部分,第一部分连接于安装座上,第二部分盖设于掩模板的一部分上;锁紧件,连接于第二部分,并能够将掩模板抵紧于槽底壁上。当掩模板容纳在安装槽内时能初步被压盖、槽侧壁和槽底壁进行限位,保证掩模板的位置精度,再通过锁紧件抵紧在掩模板上从而将掩模板抵紧于槽底壁上,进而实现将掩模板固定在安装座上,安装槽、压盖和锁紧件的相互配合使得掩模板在使用过程中不容易松脱。
基本信息
专利标题 :
一种掩模板固定装置和光纤刻写机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123449689.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
CN216595888U
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
杨康李跃霖戴立伟苏文毅
申请人 :
武汉锐科光纤激光技术股份有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市东湖开发区高新大道999号
代理机构 :
深圳紫藤知识产权代理有限公司
代理人 :
钟勤
优先权 :
CN202123449689.0
主分类号 :
G03F1/26
IPC分类号 :
G03F1/26 G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1/26
相移掩膜;PSM空白;其制备
法律状态
2022-05-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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