一种基于硅基光波导的三维光交叉器及其制备方法
公开
摘要
一种基于硅基光波导的三维光交叉器及其制备方法，属于集成光电子学技术领域。由硅衬底、二氧化硅下包层、二氧化硅中间层、二氧化硅上包层和光波导芯层组成；光波导芯层由第一层硅波导和第二层硅波导组成，第一层硅波导制备在二氧化硅下包层之上、被包覆在二氧化硅中间层之中；第二层硅波导制备在二氧化硅中间层之上、被包覆在二氧化硅上包层之中；第一层硅波导和第二层硅波导结构尺寸完全相同，呈十字交叉设置。本发明使用的函数型波导结构尺寸小，制备方法与CMOS工艺兼容，利于集成。在1550nm波长下，传输效率为0.985，层间串扰为‑59.8dB。在保持低层间串扰特性的同时，可实现低损耗传输，具有广泛的应用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种基于硅基光波导的三维光交叉器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114296182A
申请号 ：
CN202210013198.1
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2022-01-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孙小强刘庭瑜刘崧岳许言高阳张大明
申请人 ：
吉林大学
申请人地址 ：
吉林省长春市长春高新技术产业开发区前进大街2699号
代理机构 ：
长春吉大专利代理有限责任公司
代理人 ：
刘世纯
优先权 ：
CN202210013198.1
主分类号 ：
G02B6/12
IPC分类号 ：
G02B6/12 G02B6/122 G02B6/136 G02B6/132
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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