一种带气体富集功能的MEMS气体传感器及其工作方法
实质审查的生效
摘要
本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种带气体富集功能的MEMS气体传感器及其工作方法。该带气体富集功能的MEMS气体传感器包括衬底、第一绝缘支撑层、加热电阻层、第二绝缘支撑层、敏感电极层、半导体气敏材料层、气体富集材料层和悬膜通孔。本发明通过气体富集材料的选择性富集与释放，提高气体传感器的灵敏度和选择性。该MEMS气体传感器尺寸小、成本低、灵敏度高、选择性好。
基本信息
专利标题 ：
一种带气体富集功能的MEMS气体传感器及其工作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114487036A
申请号 ：
CN202210020830.5
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
雷鸣王龙海
申请人 ：
海宁微纳芯传感技术有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区双联路128号科创中心B座353室
代理机构 ：
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈熙
优先权 ：
CN202210020830.5
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/12
申请日 : 20220110
申请日 : 20220110
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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