一种气体传感器、制作方法及气体检测方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种气体传感器、制作方法及气体检测方法，涉及气体检测技术领域，以解决现阶段石墨烯/金属氧化物复合结构的传感器响应时间和灵敏度低的问题。该气体传感器包括：基板、形成在衬底上的二维半导体层、形成在二维半导体层表面的金属氧化物半导体层以及两个电极。所述制作方法用于制作气体传感器。本发明提供的气体传感器、制作方法及气体检测方法用于环境监测。
基本信息
专利标题 ：
一种气体传感器、制作方法及气体检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114518389A
申请号 ：
CN202210421504.5
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2022-04-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王辰阳王子栋孔庆凯辛宏伟
申请人 ：
北京中科海芯科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区西三旗建材城内3幢二层258号
代理机构 ：
北京鼎承知识产权代理有限公司
代理人 ：
夏华栋
优先权 ：
CN202210421504.5
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/12
申请日 : 20220421
申请日 : 20220421
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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