一种宽光谱物镜波像差的测算方法及系统
实质审查的生效
摘要
本发明的宽光谱物镜波像差的测算方法包括：搭建物镜的波像差实测光路并获取物镜在标准波长处的波像差实测值；基于物镜的实际光学结构参数搭建物镜的波像差理论仿真光学系统并计算出物镜在标准波长处和待测波长处的波像差的理论差值；基于物镜在标准波长处的波像差实测值以及物镜在标准波长处和待测波长处的波像差的理论差值获取物镜在待测波长处的波像差等效实测值。本发明通过先搭建基于标准波长的物镜波像差实测光路获取物镜在标准波长处的波像差实测值，再基于实际光学结构参数搭建物镜波像差理论仿真光学系统从而获取物镜在标准波长处和待测波长处的波像差的理论差值，进而间接求得物镜在待测波长处的波像差等效实测值。
基本信息
专利标题 ：
一种宽光谱物镜波像差的测算方法及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114441145A
申请号 ：
CN202210021978.0
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2022-01-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马骏闫力松赵润川方斌
申请人 ：
上海精积微半导体技术有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区秋月路26号矽岸国际2A号楼2楼
代理机构 ：
武汉东喻专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张英
优先权 ：
CN202210021978.0
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/02
申请日 : 20220110
申请日 : 20220110
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
