本公开是关于一种半导体结构的分析方法、分析系统、介质及电子设备，该方法通过建立存储有实验设计晶圆的光谱和结构参数，及制程记录晶圆的光谱和结构参数的数据库，基于数据库中的光谱和结构参数生成数据处理模型，通过数据处理模型对在线晶圆的光谱进行分析。将需要检测的在线晶圆的光谱直接导入数据处理模型，即可获得预测结果，工作效率较高。分析过程会将在线晶圆的光谱也保存在数据库中，不断对数据处理模型进行更新，提高数据处理模型的准确性，对其他在线晶圆检测时，可以复用已完成分析的在线晶圆的光谱，从而提高预测结果的精度。