一种蚀刻液
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种蚀刻液，用于平板显示制程中银纳米线透明导电膜的蚀刻处理，属于金属材料表面处理技术领域。所述蚀刻液包含无机酸、有机酸、无机酸盐、表面活性剂、助剂和去离子水，所述助剂含有苯并咪唑类化合物，其结构式如下：其中，R1为C1‑C5的直链或者支链烷烃；R2为氢、C5‑C12芳环基、C5‑C12单环基、C5‑C12二环基或C5‑C12三环基取代基；Ar为苯、萘或蒽结构取代基。该蚀刻液能够高效地对银纳米线透明导电膜进行蚀刻，同时较好地解决了金属银析出的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种蚀刻液
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114277374A
申请号 ：
CN202210023908.9
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2022-01-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李海涛
申请人 ：
肇庆微纳芯材料科技有限公司
申请人地址 ：
广东省肇庆市四会市江谷镇精细化工区创业路1号甲类厂房编号5
代理机构 ：
北京开阳星知识产权代理有限公司
代理人 ：
丁继恩
优先权 ：
CN202210023908.9
主分类号 ：
C23F1/30
IPC分类号 ：
C23F1/30 H01L51/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/10
蚀刻用组合物
C23F1/14
含水组合物
C23F1/16
酸性组合物
C23F1/30
蚀刻其他金属材料用的
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23F 1/30
申请日 : 20220110
申请日 : 20220110
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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