一种高寿命银膜蚀刻液组合物及蚀刻工艺
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种高寿命银膜蚀刻液组合物，主要组成为硝酸、乙酸、A酸、银离子络合剂和水，A酸为选自有机磺酸和磷酸中的至少一种，银离子络合剂为氨基羧酸或者羟基羧酸；还包括除银离子络合剂外的C4～C10多羟基化合物。本发明高寿命银膜蚀刻液组合物基于现有的硝酸乙酸混酸体系，多羟基化合物在基板中裸露的铝表面自组装成膜，银离子络合物充分络合游离的银离子，降低蚀刻体系中的银离子与铝表面接触的几率，延长蚀刻液的使用寿命，提高产线生产效率。本发明还公开了一种高寿命银膜蚀刻液组合物的蚀刻工艺。
基本信息
专利标题 ：
一种高寿命银膜蚀刻液组合物及蚀刻工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114277373A
申请号 ：
CN202111622391.7
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
徐杨张秋莲赵文虎李旸邵勇殷福华
申请人 ：
江阴江化微电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号
代理机构 ：
无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杜兴
优先权 ：
CN202111622391.7
主分类号 ：
C23F1/30
IPC分类号 ：
C23F1/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/10
蚀刻用组合物
C23F1/14
含水组合物
C23F1/16
酸性组合物
C23F1/30
蚀刻其他金属材料用的
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23F 1/30
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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