一种刀具镀膜工艺及设备
公开
摘要
本发明提供一种刀具镀膜工艺及设备，涉及金属表面处理领域。刀具镀膜工艺包括以下步骤：对刀具基底进行预处理；对刀具基底进行气体离子清洗；采用高能脉冲磁控溅射技术对金属靶材进行磁控溅射，形成金属离子，配合脉冲偏压的脉冲控制金属离子对刀具基底进行刻蚀清洗；依次在刀具基底表面沉积金属碳化物层和碳膜层，且金属碳化物层的厚度不大于500nm。对刀具基底进行气体离子清洗后，对刀具基底进行金属离子刻蚀清洗，能够有效地增加刀具基底与碳膜层之间的结合力，从而在确保刀具基底与碳膜层稳定结合的前提下，降低金属碳化物层的厚度，使金属碳化物层的厚度不大于500nm，避免刃口因过厚而变钝，保证刃口的锋利度。
基本信息
专利标题 ：
一种刀具镀膜工艺及设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114293144A
申请号 ：
CN202210029918.3
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2022-01-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
田修波郑礼清宋光耀李建伟王进平
申请人 ：
松山湖材料实验室
申请人地址 ：
广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
宋家会
优先权 ：
CN202210029918.3
主分类号 ：
C23C14/02
IPC分类号 ：
C23C14/02 C23C14/06 C23C14/16 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/02
待镀材料的预处理
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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