一种REC半导体激光器阵列波长控制系统
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种REC半导体激光器阵列波长控制系统，包括整体式TEC、测温电路、温度误差放大器、PID补偿电路、TEC驱动电路、独立式TEC、热敏电阻和热沉；独立式TEC、热敏电阻和热沉设置在激光器阵列芯片结构内部；TEC驱动电路先对设置在衬底底面上的整体式TEC施加电压，采用整体式TEC对整个激光器阵列芯片进行温度粗调，再对不满足目标温度电信号的激光器单元上的独立式TEC施加电压，采用独立式TEC对相应的激光器单元进行温度精调。本发明通过在激光器阵列芯片的外部和内部分别进行温度的粗调和精调，使得每个激光器通道均能输出稳定波长的光束，实现对波长间隔的精确控制。
基本信息
专利标题 ：
一种REC半导体激光器阵列波长控制系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114374145A
申请号 ：
CN202210030664.7
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2022-01-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李密李安妮尹知谦陈向飞
申请人 ：
南京大学
申请人地址 ：
江苏省南京市鼓楼区汉口路22号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
陈月菊
优先权 ：
CN202210030664.7
主分类号 ：
H01S5/06
IPC分类号 ：
H01S5/06
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 5/06
申请日 : 20220112
申请日 : 20220112
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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