本发明公开了一种复合透明导电薄膜及其氨基酸锚定法制备工艺与应用。复合导电薄膜具有“氨基酸/金属/抗反射层”三层结构，以氨基酸为金属薄膜生长的诱导层，高折射率材料为抗反射层，制备过程包括以下步骤：清洗衬底并做亲水性处理；在基底上涂覆氨基酸溶液制备诱导层，经过热退火工艺使溶剂充分挥发；真空蒸镀沉积金属薄膜，然后沉积抗反射层材料，获得复合透明导电薄膜。本发明提出的复合透明导电薄膜及其制备方法，具有制备工艺简单，成本低的特点，适用于多种衬底材料，采用此方法，获得的复合透明导电薄膜具有超高透光率、低方阻的光电特性，并且具有极强的抗弯折形变性和抗氧化性。在大面积光电子器件的应用中具有重要的前景和价值。