光线刻蚀装置和显示基板制备设备
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种光线刻蚀装置和显示基板制备设备。该光线刻蚀装置包括:腔体;腔体包括第一侧壁,第一侧壁上设置有透明窗;待刻蚀基板用于设置在腔体内;光线源,位于腔体外,且对应透明窗设置,光线源用于发出刻蚀光线;刻蚀光线能透过透明窗进入腔体内;接尘器,设置于腔体内,且位于待刻蚀基板和第一侧壁之间;接尘器包括接尘部和由接尘部围设形成的透光通道;透光通道对应待刻蚀区域和透明窗,能使由透明窗进入腔体的刻蚀光线照射至待刻蚀基板的待刻蚀区域;接尘部用于对待刻蚀基板的待刻蚀区域刻蚀时产生的粉尘进行收纳。该光线刻蚀装置能够对刻蚀待刻蚀区域形成的粉尘进行很好的收集和容纳,从而避免粉尘对腔体内以及待刻蚀基板造成污染。

基本信息
专利标题 :
光线刻蚀装置和显示基板制备设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114406481A
申请号 :
CN202210080343.8
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-01-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘金彪李元星刘文豪肖昂罗楠晋亚杰李靖胡斌加新星姬磊李端瑞周杰党博谭王天昊兰代江刘飞祁泽宙尹茂吉霍堡垒
申请人 :
京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请人地址 :
北京市朝阳区酒仙桥路10号
代理机构 :
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 :
李迎亚
优先权 :
CN202210080343.8
主分类号 :
B23K26/362
IPC分类号 :
B23K26/362  B23K26/142  B23K26/70  H01L21/56  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/362
激光刻蚀
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/362
申请日 : 20220124
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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