本发明公开了一种级联放大磁增强高功率微波等离子体产生装置和方法，该装置包括高频点火器系统、低功率微波等离子体炬系统、高功率微波辐照系统、第一级进料系统、第二级进料系统、第三级进料系统、第四级进料系统、主化学反应系统、磁体系统、次化学反应系统。本发明利用低温等离子体引燃技术、磁场产生技术、大功率微波产生及传输技术，实现高效耦合、稳定、大功率微波等离子体装置，有效提高大功率微波在等离子体中的吸收效率，减少大功率微波反射对微波器件的损坏，提高其操作便捷性和使用寿命，装置尺寸可根据需要灵活调节，大大降低了设备的开发难度及材料制作成本，易于放大实现工业化生产。