本发明涉及一种太阳能电池选择性发射极的制备方法及太阳能电池，该方法包括如下步骤：步骤S1，对衬底进行掺杂元素的扩散，在所述衬底的表面形成轻掺杂层并在轻掺杂层上形成包含所述掺杂元素的重掺杂区扩散源层；步骤S2，通过电子束对所述重掺杂区扩散源层的预定区域进行照射以使所述掺杂元素进一步向所述衬底扩散，使得对应于所述预定区域的所述衬底的表面形成重掺杂区，预定区域之外的所述衬底的所述表面形成轻掺杂区。本发明的制备方法，以重掺杂区扩散源层作为扩散源，通过对重掺杂区扩散源层的预定区域进行照射，使得重掺杂区扩散源层中的掺杂元素进一步向衬底扩散，能够形成图案化的重掺杂区，并使所得的重掺杂区具有较高的表面掺杂浓度。