支撑结构、多层膜透射滤光元件及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种金属网格支撑结构、多层膜透射滤光元件及制备，所述支撑结构包括金属网格(1)和填充物(2)，所述金属网格(1)中规则分布圆柱形通孔(3)，所述填充物(2)填充在通孔(3)中。所述多层膜透射滤光元件包括金属网格(1)以及镀覆在金属网格(1)上的多层膜(5)。与现有技术相比，本发明的金属网格结构稳定且易于制备，有效提高多层膜滤光元件的通光面积占比，优化过滤性能，更有利于极紫外和X射线波段的透射率。同时，多层膜结构有效的改善应力和表面针孔结构的存在，有效提升机械性能和环境稳定性。
基本信息
专利标题 ：
支撑结构、多层膜透射滤光元件及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114464336A
申请号 ：
CN202210089312.9
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2022-01-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵娇玲郭胜李笑然朱美萍邵宇川王涛张益彬邵建达
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
上海市嘉定区清河路390号
代理机构 ：
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张宁展
优先权 ：
CN202210089312.9
主分类号 ：
G21K1/10
IPC分类号 ：
G21K1/10 C23C14/06 C23C14/16 C23C14/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G21
核物理；核工程
G21K
未列入其他类目的粒子或电离辐射的处理技术；照射装置；γ射线或X射线显微镜
G21K1/00
粒子或电离辐射的处理装置，如聚焦或慢化
G21K1/10
散射器件；吸收器件
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G21K 1/10
申请日 : 20220125
申请日 : 20220125
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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