一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法
实质审查的生效
摘要
本申请涉及一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，涉及入射角扫描的技术领域，其包括以下步骤：S1：将样品放置在样品台上；S2：测量，寻找样品的快慢轴；S3：将快轴或慢轴方向旋转到入射面内，将起偏臂和检偏臂设置在同一条直线上，对样品做透射测量；S4：调整起偏臂和检偏臂之间的夹角，对样品做反射测量；S5：对样品进行旋转，改变入射角，测量透射或反射。本申请具有该系统对不同厚度的样品既可做入射角扫描的透射也可做入射角扫描的反射的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114279693A
申请号 ：
CN202210098998.8
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2022-01-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孟永宏朱宗洋杨良
申请人 ：
北京量拓科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区西环南路26号院30号楼4层402C
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
郑雷
优先权 ：
CN202210098998.8
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/02
申请日 : 20220125
申请日 : 20220125
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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