一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统
授权
摘要
本申请涉及一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统，其包括起偏臂、样品台、底部旋转台以及固设在所述底部旋转台上的检偏臂；所述底部旋转台位于所述样品台下方，且所述底部旋转台和样品台同轴设置。本申请具有该系统对不同厚度的样品既可做入射角扫描的透射也可做入射角扫描的反射的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220219572.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-01-25
授权号 ：
CN216695518U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
孟永宏朱宗洋杨良
申请人 ：
北京量拓科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区西环南路26号院30号楼4层402C
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
郑雷
优先权 ：
CN202220219572.9
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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