一种用于精确控制湿度的混合气体配制方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种用于精确控制湿度的混合气体配制方法，所述方法基于配气装置，所述配气装置包括混气腔，所述混气腔设有水蒸气通道、多个混合配气通道以及用气装置连接通道；所述混气腔内设有温度传感器以及多个不同量程的气压传感器；本申请的配气方法通过依次单独向混气腔注入水蒸气和其他待混合的气体，并且根据实时测量的分压控制每次注入水蒸气和其他待混合气体的量，可以对最终制备的混合气体湿度进行精确控制，相比于传统的需要通过流动气体经过加湿装置来调节湿度，本申请的湿度调节更精确且可控范围更大。
基本信息
专利标题 ：
一种用于精确控制湿度的混合气体配制方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114425247A
申请号 ：
CN202210099553.1
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2022-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵蒙高炬
申请人 ：
苏州科技大学
申请人地址 ：
江苏省苏州市学府路99号
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
王若愚
优先权 ：
CN202210099553.1
主分类号 ：
B01F23/10
IPC分类号 ：
B01F23/10 B01F35/21 B01F35/221 B01F35/82 G01N33/00
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01F 23/10
申请日 : 20220127
申请日 : 20220127
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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