双背极板麦克风及其制造方法
实质审查的生效
摘要

公开了一种双背极板麦克风包括:由下至上依次层叠的衬底、第一牺牲层、下背极板、第二牺牲层、振膜、第三牺牲层以及上背极板;第一导电通道,从所述第二牺牲层表面向下贯穿所述第二牺牲层至下背极板;第二导电通道,贯穿所述第三牺牲层,与所述第一导电通道连接;彼此隔离的第一电极和第三电极,位于所述上背极板上,其中,所述第一电极经由第二导电通道以及第一导电通道与所述下背极板电连接,所述第三电极与上背极板电连接。本申请的双背极板麦克风,通过沉积振膜和上背极板层时将下背极板上的电极和振膜的电极连接到上背极板上,提高导电通道与下背极板和振膜的粘附力,提高器件的良率和可靠性。

基本信息
专利标题 :
双背极板麦克风及其制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114422930A
申请号 :
CN202210100613.7
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-01-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
孟燕子荣根兰
申请人 :
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室
代理机构 :
北京成创同维知识产权代理有限公司
代理人 :
蔡纯
优先权 :
CN202210100613.7
主分类号 :
H04R31/00
IPC分类号 :
H04R31/00  H04R7/10  B32B3/08  B32B9/00  B32B9/04  
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H04R 31/00
申请日 : 20220127
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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