电容式MEMS麦克风及其制造方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种电容式MEMS麦克风及其制造方法，所述麦克风包括第一麦克风结构和第二麦克风结构；所述第一麦克风结构包括：第一电极层；第二电极层；第一支撑部，设于所述第一电极层和第二电极层之间；第一连接部，设于所述第二电极层的与所述第一支撑部相背的一面；所述第二麦克风结构包括：第三电极层；第四电极层；第二支撑部，设于所述第三电极层和第四电极层之间；第二连接部，设于所述第四电极层的与所述第二支撑部相背的一面；其中，所述第一连接部的表面与所述第二连接部的表面键合连接。本发明能够获得更大的电容器有效面积，因此能够提高麦克风的灵敏度与信噪比，并且通过键合的方式得到的电容式MEMS麦克风制造成本低。
基本信息
专利标题 ：
电容式MEMS麦克风及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114501274A
申请号 ：
CN202210111374.5
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李少平苏巍夏长奉
申请人 ：
华润微电子控股有限公司
申请人地址 ：
上海市静安区汶水路299弄11、12号第5层
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
虞凌霄
优先权 ：
CN202210111374.5
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R31/00
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H04R 19/04
申请日 : 20220129
申请日 : 20220129
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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